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圖像翻轉(zhuǎn)烘箱,光刻圖形反轉(zhuǎn)設(shè)備主要用于剝離過程,特別是在柔性電極、電極的制作以及其他一些MEMS器件工藝中。通過底切側(cè)壁形態(tài),可以防止沉積的材料在光刻膠邊緣和側(cè)壁上形成連續(xù)薄膜,有助于獲得干凈的剝離光刻膠結(jié)構(gòu)。
真空熱風(fēng)烘箱,高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱工作原理,循環(huán)階段:風(fēng)機(jī)產(chǎn)生強(qiáng)大的氣流,將熱風(fēng)循環(huán)均勻地分布到烘箱內(nèi)部,使熱風(fēng)與物品表面充分接觸,加快熱傳導(dǎo) 排濕階段:在烘箱內(nèi),物品的表面水分被熱風(fēng)蒸發(fā),濕氣通過排濕口排出烘箱。
高溫真空無氧烤箱JS-GYZF040,雋思無氧烘箱用于PI/BCB/LCP/PBO光刻膠固化、厭氧烘烤、MEMS生產(chǎn)、高溫退火等工藝,適用于半導(dǎo)體、電子、新材料等研發(fā),生產(chǎn)。常用于科研單位,高校實驗室,工廠生產(chǎn)線等場所。
BCB無氧烘箱,BCB固化烤箱用于半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纖維熱處理。
PI真空烘箱,真空無氧PI烤箱用于半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纖維熱處理。