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智能型無塵無氧烘箱 高溫氮?dú)鉄o氧PI烤箱

智能型無塵無氧烘箱 高溫氮?dú)鉄o氧PI烤箱

簡(jiǎn)要描述：

智能型無塵無氧烘箱 高溫氮?dú)鉄o氧PI烤箱 電子膠體固化：銀膠/BCB膠/光刻膠高溫固化（300-450℃）

晶圓加工：退火處理、PI膜烘烤（±1℃波動(dòng)精度）

陶瓷燒結(jié)：電子陶瓷材料無塵烘干（Class100潔凈環(huán)境）

智能型無塵無氧烘箱  氮?dú)鉄o氧烤箱  PI固化爐

一、智能型無塵無氧烘箱  高溫氮?dú)鉄o氧PI烤箱核心功能定位

1.1 工藝適配場(chǎng)景

? ?精密熱處理?

  • 電子膠體固化：銀膠/BCB膠/光刻膠高溫固化（300-450℃）

  • 晶圓加工：退火處理、PI膜烘烤（±1℃波動(dòng)精度）

  • 陶瓷燒結(jié)：電子陶瓷材料無塵烘干（Class100潔凈環(huán)境）

? ?行業(yè)覆蓋矩陣?

核心行業(yè)典型應(yīng)用產(chǎn)品工藝優(yōu)勢(shì)
半導(dǎo)體制造晶圓、觸摸屏ITO玻璃氧含量≤20ppm防氧化
顯示面板LED封裝、OLED基板溫度均勻度≤±1.5%℃
新能源光伏電池板、PCB板15℃/min急速升溫（定制版）

二、技術(shù)參數(shù)體系

2.1 核心配置參數(shù)

參數(shù)類別技術(shù)指標(biāo)可定制選項(xiàng)
?箱體結(jié)構(gòu)?內(nèi)箱SUS304不銹鋼/外箱冷軋板噴塑全不銹鋼/防爆涂層
?工作室尺寸?標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格：300×500×700mm非標(biāo)尺寸定制
?溫控系統(tǒng)?RT+50~450℃ | 分辨率0.1℃ | 波動(dòng)≤±1℃600℃高溫?cái)U(kuò)展

2.2 環(huán)境控制系統(tǒng)

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? 潔凈度：Class100（ISO 5級(jí)）     └ 可選配Class1000（ISO 6級(jí)）   ? 氧含量控制：≤10ppm（N?置換系統(tǒng)）     └ 配備在線氧分析儀   ? 熱交換系統(tǒng)：線性降溫4℃/min（80℃以下）  

2.3 智能操作模塊

  • ?控制系統(tǒng)?

    ：工業(yè)級(jí)PLC+HMI觸摸屏

  • ?程序編排?

    ：支持30組999段程式設(shè)定

  • ?數(shù)據(jù)追溯?

    ：六點(diǎn)溫度記錄儀（符合FDA 21 CFR Part 11）

三、設(shè)備型號(hào)對(duì)照表

設(shè)備型號(hào)工作室容積適用生產(chǎn)場(chǎng)景
JS-GYM040-AI0.043m3實(shí)驗(yàn)室研發(fā)/小批量試制
JS-GYM090-AI0.091m3中型元器件連續(xù)生產(chǎn)
JS-GYM125-AI0.125m3光伏電池板熱處理
JS-GYM210-AI0.210m3晶圓廠量產(chǎn)型工作站

四、智能型無塵無氧烘箱  高溫氮?dú)鉄o氧PI烤箱技術(shù)亮點(diǎn)說明


?三位一體精準(zhǔn)控制?

  1. ?溫度維度?

    ：PID算法+SSR控制，達(dá)成±0.1%超調(diào)抑制

  2. ?潔凈維度?

    ：HEPA+ULPA雙級(jí)過濾系統(tǒng)，顆粒物截留率≥99.995%

  3. ?氧控維度?

    ：氮?dú)饣蛘婵罩脫Q+氣體循環(huán)復(fù)合系統(tǒng)，殘氧量達(dá)軍工標(biāo)準(zhǔn)


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