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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）將HMDS氣相沉積至半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結合，起著偶聯(lián)劑的作用。

智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機干泵密封設計（電機和所有軸承與真空環(huán)路*隔開）延長了軸承的使用壽命， 還可提供潔凈、無油的真空條件?？蛇x的集成入口保護閥內(nèi)置于泵模塊中， 可根據(jù)需要使用，不會額外增加泵的高度。

智能型HMDS涂膠機，自動HMDS涂膠鍍膜機也稱為HMDS處理，是用于使晶片表面呈疏水性的處理。

HMDS增粘裝置，涂敷HMDS增粘劑的裝置通過對箱體內(nèi)預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，增加了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS涂膠機，智能型HMDS涂 膠機將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結合，起著偶聯(lián)劑的作用。

光刻工藝HMDS鍍膜機，MOS器件HMDS鍍膜 機涂布工藝是改善晶圓表面接觸角的關鍵步驟。

抗粘劑蒸鍍機，抗粘層鍍膜機在基片與彈性支撐層之間還形成有抗黏層，抗黏層一般由全氟辛基三氯硅烷或全氟癸基三氯硅烷形成。